主要技术指标： a、电源：220V 50Hz 1KW b、整机尺寸：550mmx1600mmx500mm（内置真空泵） c、固体射频电源：f＝13，56MHz，0～500W连续可调。（带自动匹配器） d、最大装片容量：20片/次 e、最装片直径：100mm f、去胶速率：>500Å/min（正胶） g、四片电容式极板，反应室口进气，有利于提高等离子体均匀性和去胶速率 h、真空度：约－100k i、气体流量：0，2～1L/Min，美国浮子流量计控制气体流量 j、真空腔：GE石英ф200mmx300mm k、自动匹配器。 l、控制方式：PLC、触摸屏控制。 m、2L/s机械真空泵 国产精品久久。